目前在對工業廢氣處理的過程中，運用普遍的方法是有機廢氣處理方法、催化燃燒處理方法、光催化氧化處理方法、酸堿中和方法（洗滌噴淋法）、低溫等離子處理法等很多種不同原理與方法。

等離子處理技術：采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，對工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

活性碳吸附廢氣處理設備：主要使用活性吸附裝置對廢氣中的有機廢氣、粉塵進行過濾、吸附從而達到凈化有機廢氣和除塵的效果，吸附裝置是比較傳統的一種廢氣處理方法，前幾年許多公司使用的是此裝置。它對200mg/m3濃度以下的廢氣處理效果明顯，處理成本低。但是對高濃度的處理由于要經常更換活性炭，耗材使用及飽和后的活性炭危廢處置費用都非常高。

光氧催化濕式廢氣處理設備：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。